【摘 要】
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CMOS集成电路由于自身的优秀的性能,已经广泛的应用在各个领域,伴随着电子产品功能的不断增强,集成电路复杂程度的逐步提高,其质量和可靠性也成为人们普遍关注的焦点.本文对C
【机 构】
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北京工业大学电子信息与控制工程学院可靠性研究室,北京,100022
【出 处】
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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CMOS集成电路由于自身的优秀的性能,已经广泛的应用在各个领域,伴随着电子产品功能的不断增强,集成电路复杂程度的逐步提高,其质量和可靠性也成为人们普遍关注的焦点.本文对CMOS集成电路可靠性评价技术进行了探索,改进了一种评价方法,通过直接建立器件失效敏感参数退化率与应力水平之间的关系,就可以由单支样品的数据,提取器件某一参数退化所对应的激活能,并外推其正常使用条件下的寿命.
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