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会议论文
直流等离子体浸没式离子注入
直流等离子体浸没式离子注入
来源 :第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cr_idealism
【摘 要】
:
在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式离子注入技术,并对其原理进行探讨.
【作 者】
:
核工业西南物理研究院粒子注入中心
香港进科研发有限公司
曾旭初
郭达勤
傅劲裕
朱剑豪
许泽金
陈庆川
童洪辉
【机 构】
:
香港城市大学物理及材料科学系
【出 处】
:
第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
直流等离子体
高压脉冲调制器
离子注入技术
注入能量
制备技术
真空室
浸没式
原理
材料
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在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式离子注入技术,并对其原理进行探讨.
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