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对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
大口径镀膜机均匀性的研究
【摘 要】
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对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
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2004年z1期
【基金项目】
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高质量高破坏阀值介质膜层(863-804-2-40)
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