一种在线微机械微波功率传感器的研究

来源 :中国微米纳米技术第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sky_fly_sk
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  本文介绍了一种在线微机械微波功率传感器的结构,该传感器用来连续监测来自于MMIC放大器或多级微波放大器各级之间的微波功率,它由功率取用、功率放大和功率测量三部分构成,分别用微带线定向耦合器、微波功率放大器和间接加热终端式微机械微波功率传感器实现.微波功率传感器通过嵌入到微波和毫米波单片集成电路中,实现微波功率的在线监测.
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