【摘 要】
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利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN/a-SiN超硬薄膜的Youngs模量和内耗随温度的变化关系.以280-300℃附近观察到一个弛豫内耗峰.随着退火温度的升高,该内耗峰逐渐减弱,而Youngs模量变化不大.750℃退火后,该内耗峰消失,而模量却从未退火时的430GPa激增至530GPa.初步认为该内耗峰来源于非稳定界面的弛豫过程.
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室(合肥) Institute for Chemistry
【出 处】
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第七届全国内耗与超声衰减学术会议暨第六届中国物理学会内耗与超声衰减专业委员会全体大会
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利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN/a-Si<,3>N<,4>超硬薄膜的Youngs模量和内耗随温度的变化关系.以280-300℃附近观察到一个弛豫内耗峰.随着退火温度的升高,该内耗峰逐渐减弱,而Youngs模量变化不大.750℃退火后,该内耗峰消失,而模量却从未退火时的430GPa激增至530GPa.初步认为该内耗峰来源于非稳定界面的弛豫过程.
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