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微波离子源工作特性分析
微波离子源工作特性分析
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qy19871120wr
【摘 要】
:
从微波离子源放电机理出发,结合调试实验工作分析研究了微波离子源波传输、工作气压、磁场分布及引出系统等因素的工作特性,说明了微波离子源的技术特点。
【作 者】
:
戴习毛
【机 构】
:
产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
微波离子源
引出系统
技术特点
工作特性
工作气压
工作分析
放电机理
磁场分布
波传输
实验
调试
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从微波离子源放电机理出发,结合调试实验工作分析研究了微波离子源波传输、工作气压、磁场分布及引出系统等因素的工作特性,说明了微波离子源的技术特点。
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