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热力学和真空蒸发流计算相结合，模拟GaAs脱氧过程，预测脱氧要求的工艺条件和外加As源、Ga源的影响，并从机理上进行了解释。计算结果可作为设计GaAs脱氧工艺的依据。
GaAs衬底脱氧工艺热力学分析
【摘 要】
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热力学和真空蒸发流计算相结合，模拟GaAs脱氧过程，预测脱氧要求的工艺条件和外加As源、Ga源的影响，并从机理上进行了解释。计算结果可作为设计GaAs脱氧工艺的依据。
【机 构】
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北京有色金属研究总院(北京)
【出 处】
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第十届全国相图学术会议
【发表日期】
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2001年期
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