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会议论文
GaAs衬底脱氧工艺热力学分析
GaAs衬底脱氧工艺热力学分析
来源 :第十届全国相图学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangyanling100wang
【摘 要】
:
热力学和真空蒸发流计算相结合,模拟GaAs脱氧过程,预测脱氧要求的工艺条件和外加As源、Ga源的影响,并从机理上进行了解释。计算结果可作为设计GaAs脱氧工艺的依据。
【作 者】
:
沈剑韵
白克武
【机 构】
:
北京有色金属研究总院(北京)
【出 处】
:
第十届全国相图学术会议
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
衬底
脱氧工艺
真空蒸发
脱氧过程
流计算
工艺条件
热力学
预测
设计
模拟
解释
机理
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热力学和真空蒸发流计算相结合,模拟GaAs脱氧过程,预测脱氧要求的工艺条件和外加As源、Ga源的影响,并从机理上进行了解释。计算结果可作为设计GaAs脱氧工艺的依据。
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