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过渡金属硅化物β-FeSi2是具有直接带隙特性的半导体材料,禁带宽度约0.8eV,是制作硅基光电子光源、探测器、太阳能电池以及热电器件等有发展前景的硅基材料之一.本文采用分子束外延系统在Si(100)衬底上外延生长了β-FeSi2颗粒并系统地表征了材料的结构和性质.研制出工作波长约为1.6微米的室温发光二极管.