【摘 要】
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半导体的生产工艺可以笼统地分成:芯片设计、晶圆加工和封装测试三个工序。芯片设计是根据产品需求,对系统、模块、门电路等层级进行选择并组合,确定特定的功能和要求,形成输出电路设计的版图,供给到生产企业进行加工生产;晶圆加工又称为前道工序,是按照芯片设计环节提供的电路版图,通过炉管、湿刻、淀积、光刻、干刻、注入、退火等工艺流程在半导体晶圆基板上上形成元器件和互联线,最终产出已经完成功能及性能实现的晶圆片
【出 处】
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第十四届国际真空科学与工程应用学术会议论文（摘要）集
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半导体的生产工艺可以笼统地分成:芯片设计、晶圆加工和封装测试三个工序。芯片设计是根据产品需求,对系统、模块、门电路等层级进行选择并组合,确定特定的功能和要求,形成输出电路设计的版图,供给到生产企业进行加工生产;晶圆加工又称为前道工序,是按照芯片设计环节提供的电路版图,通过炉管、湿刻、淀积、光刻、干刻、注入、退火等工艺流程在半导体晶圆基板上上形成元器件和互联线,最终产出已经完成功能及性能实现的晶圆片,这其中70%左右的设备需要真空环境,需要真空零部件;封装测试又称为后道工序,是对加工企业的晶圆片根据客户要求进行封装加工成独立的单个芯片,并对电气功能进行测试确认。中国现阶段半导体的格局是"头尖,腿粗,腰极细"的畸形产业状态,要改变格局,一定要对"腰极细"的半导体前道工序（或者称为晶圆加工、代工厂）进行重点投入,使之有质的飞跃。制约前道序的主要因素之一是工艺装备和核心真空部件仍以进口为主,国产化比例不足,技术仍存在瓶颈。根据SEMI报告全球半导体设备销售额645.3亿美元,中国大陆半导体设备销售额为131.1亿美元,这其中2018年国产半导体设备在中国大陆市场占有率为12.2%,在全球报道提设备市场占有率为2.74%。关键装备如光刻机等仍属于国外垄断,并且国产工艺装备的基础零部件仍有80%左右的进口比例,因此基础零部件的国产化是半导体产业基础中的基础。这些基础零部件包括真空干泵、冷泵、分子泵、机械手、静电卡盘、制冷机、真空规等,国家科技重大专项已重点持续支持了多项关键零部件技术的研发与产业化,能否解决技术瓶颈,替代进口零部件,提高工艺装备的国产化率,是零部件研发和生产企业的责任,任重而道远。
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