论文部分内容阅读
为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度，提出了一种简单、实效的平面绝对测量技术来修正子孔径拼接过程中产生的系统误差，首先利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据，利用这些测量数据构建基于zernike多项式的参考面面形误差修正波面，在拼接过程中运用误差修正波面对子孔径测量数据进行实时修正。该方法可以最大限度的减少参考平面自身的面形误差所引起的系统误差对于子孔径拼接测量精度的影响，提高大口径光学元件的检测精度。