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MBE生长的MHEMT器件的基本研究
MBE生长的MHEMT器件的基本研究
来源 :第六届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goblinzehong
【摘 要】
:
本文报告了一种MHEMT器件的基本研究结果,是在北京物理所研制的MHEMT材料上,在2英寸GaAs工艺线上根据InP HEMT工艺制造成功的.初步的结果对比超过了在相同条件下的MESFET,HEM
【作 者】
:
吴旭
陈效建
李佛晓
杨立杰
【机 构】
:
南京大学器件研究所
【出 处】
:
第六届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
器件性能
结果对比
工艺制造
工艺线
英寸
物理
材料
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本文报告了一种MHEMT器件的基本研究结果,是在北京物理所研制的MHEMT材料上,在2英寸GaAs工艺线上根据InP HEMT工艺制造成功的.初步的结果对比超过了在相同条件下的MESFET,HEMT器件的结果,表现出了MHEMT器件性能方面的优势.
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