激光-化学复合法制备表面增强拉曼光谱单晶硅基底

来源 :中国物理学会2015年秋季会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuzhisuixin

【摘要】

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　　激光具有能量高、易操作、可控性好、以及非接触辐照加热不易引入污染等特点，激光辐照单晶硅可以对其表面进行改性并形成微结构.本文介绍了一种表面增强拉曼光谱(SERS)单

【作者】

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林真源季凌飞蒋毅坚

【机构】

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北京工业大学激光工程研究院,北京100124

【出处】

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中国物理学会2015年秋季会议

【发表日期】

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2015年期

【关键词】

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激光扫描化学复合法制备表面增强拉曼光谱单晶硅表面微结构阵列制备方法刻蚀时间

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　　激光具有能量高、易操作、可控性好、以及非接触辐照加热不易引入污染等特点，激光辐照单晶硅可以对其表面进行改性并形成微结构.本文介绍了一种表面增强拉曼光谱(SERS)单晶硅基底的快速制备方法，采用这种方法可以通过皮秒激光扫描覆盖有介电微球的单晶硅表面，以及快速化学腐蚀(10 wt.％NaOH溶液，刻蚀时间小于30 s)在单晶硅表面制备具有较好周期性及均一性的微结构阵列.

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