离子束用于ＳｒＴｉＯ<,3>单晶衬底抛光的工艺研究

来源 :全国超导隧道结专题讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：suiyuehenji

【作者】

：

杨涛聂家财

【机构】

：

大学

【出处】

：

全国超导隧道结专题讨论会

【发表日期】

：

1995年期

【关键词】

：

离子束单晶衬底抛光

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