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离子束用于SrTiO<,3>单晶衬底抛光的工艺研究
【机 构】
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大学
【出 处】
:
全国超导隧道结专题讨论会
【发表日期】
:
1995年期
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该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长,以及离子注入SOI材料合成