论文部分内容阅读
外延淀积工艺中发生的图形漂移和图形畸变会导致外延后加工层次无法和外延前留下的对位标记实现准确对位甚至无法对位的情况，本论文阐述了图形漂移和图形畸变的原理，采用横向外延生长技术，结合实际试验的结果，给出了一种图形漂移和图形畸变的测试结构和形成方法，使在确认图形漂移和图形畸变时的测试精度更高、流程简单且有效降低成本。