【摘 要】
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本文采用QSS-μPCD(准稳态微波光电导衰减法)测试方法对IBC电池中前表面场的钝化和N型衬底的本体少子寿命进行测试研究.结合电晕CV测试方法确定IBC电池中的高温工艺对衬底少
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京100029
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本文采用QSS-μPCD(准稳态微波光电导衰减法)测试方法对IBC电池中前表面场的钝化和N型衬底的本体少子寿命进行测试研究.结合电晕CV测试方法确定IBC电池中的高温工艺对衬底少子寿命的影响,对IBC电池的前表面复合速率、发射极饱和电流和Implied Voc等参数的优化贡献,最终揭示出各参数衰减的物理机理.
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