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类金刚石膜的性能及在工模具上的应用
类金刚石膜的性能及在工模具上的应用
来源 :第七届广东省真空学会学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longlivewebdynpro
【摘 要】
:
本文综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。
【作 者】
:
代明江
林松盛
候惠君
李洪武
【机 构】
:
广州有色金属研究院,广州,510651
【出 处】
:
第七届广东省真空学会学术研讨会
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
类金刚石膜
膜性能
工模具
物理气相沉积
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本文综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。
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