【摘 要】
:
为了获得高性能的RF-MEMS开关,用HFSS软件对RF-MEMS开关进行S参数仿真,对采用三种不同的介电常数的介质材料的开关以及在开关结构中引入微电感的开关进行了仿真.仿真结果与研制的开关样管实测结果基本吻合.结果证明:(1)选择高介电常数的介质膜材料,可提高开关的隔离度;(2)在开关结构中引入微电感和选择合适的材料可控制开关的适用频率.
论文部分内容阅读
为了获得高性能的RF-MEMS开关,用HFSS软件对RF-MEMS开关进行S参数仿真,对采用三种不同的介电常数的介质材料的开关以及在开关结构中引入微电感的开关进行了仿真.仿真结果与研制的开关样管实测结果基本吻合.结果证明:(1)选择高介电常数的介质膜材料,可提高开关的隔离度;(2)在开关结构中引入微电感和选择合适的材料可控制开关的适用频率.
其他文献
给出了测量微镜转动角度的一种光学方法,此方法是基于F-P板上下表面反射光的光程差随准直激光束的入射角变化,由测量光程差来得到微镜转动角度.此方法的测量范围为0°--90°,测量分辨率为3.2arcsec.
论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术,实现集成纳电子机械器件的制作.基于纳米厚度的硅悬臂梁,开发了超高灵敏度谐振型传感器和微、纳测量仪器.利用制作的十至百纳米厚度硅悬臂梁传感器,成功地测量了碳纳米管储存氢的能力和铁磁性微粒在外加磁场下作用在悬臂梁上的微力.
微光栅是微系统的重要元器件之一.文章中用一个等效模型来分析了微光栅的衍射问题,结果表明:当光栅的尺寸接近波长时,衍射级次退化至只有零级和±1级的状况,而光栅的衍射效率和衍射角之间的关系较明显.
系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.
介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.重点阐述了RF MEMS研究中的关键技术以及RF MEMS的应用.结合国内外RF MEMS发展提出优化加工工艺,促进产业化进程.表明RF MEMS可用于无线通信、雷达天线和GPS卫星通讯等.
说明了电子隧穿传感器的工作原理;阐述了微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计、微机械电子隧穿磁强计等典型的微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的巨大应用潜力和优势;最后介绍了我们在微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计和微机械电子隧穿陀螺仪方面的研究进展.
介绍了静电伺服微加速度计的基本组成、工作原理,详细分析了加速度计的稳定性与横向加速度、电容间隙、偏置电压的关系,指出当满足机械刚度大于偏置电压电刚度,同时偏置电压还应小于与横向加速度、电容间隙、反馈电压有关的一个临界电压时,微加速度计才能处于稳定状态.
采用面向对象技术,研究了用统一建模语言对基于"Top-down"设计和"Bottom-up"修正的MEMS集成设计平台的建模技术,并讨论了采用分布对象技术和Agent构建MEMS集成设计平台的框架结构的方法.
提出了一个用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法.此方法从微观角度出发,根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态,根据统计物理的主方程组的方法,同时将腐蚀温度、浓度等对腐蚀速率的影响考虑了进去,列出了各微观状态之间相互转换的关系式.根据以上提出的关系算出了各主要晶面的腐蚀速率,并且将计算结果与实验结果进行了对比,结果证明了此算法的合理性,本文作者提出的微观参数可以看作是宏观参数在微观状态的反应.
介绍了一种利用体硅工艺实现的电容式微机械陀螺.陀螺的驱动模态和检测模态采用互相独立的弹性梁结构,可以减弱两个模态间的机械耦合.利用有限元仿真软件ANSYS对结构进行了优化,可以保证陀螺两个工作模态的良好匹配.