【摘 要】
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高线性度微机械陀螺的动态特性是高性能高精度陀螺研究的一个重要方面。介于微结构涉及微观干扰力的作用机理及行程效应、各种阻尼力及电场力的作用因素、微机械陀螺各转换环节间的线性度、双级解耦结构等都对微机械陀螺的动态特性造成了一定的影响。因此，本文在设计一种高线性度双极解耦微机械陀螺基础上对其动态性能进行了测试分析。该微机械陀螺采用SOG加工工艺，管芯用陶瓷DIP-24方式封装。
【机 构】
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北京理工大学 机电学院,北京100081 北京理工大学 爆炸科学与技术国家重点实验室,北京1000
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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高线性度微机械陀螺的动态特性是高性能高精度陀螺研究的一个重要方面。介于微结构涉及微观干扰力的作用机理及行程效应、各种阻尼力及电场力的作用因素、微机械陀螺各转换环节间的线性度、双级解耦结构等都对微机械陀螺的动态特性造成了一定的影响。因此，本文在设计一种高线性度双极解耦微机械陀螺基础上对其动态性能进行了测试分析。该微机械陀螺采用SOG加工工艺，管芯用陶瓷DIP-24方式封装。
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