切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
反应离子刻蚀机的控制系统
反应离子刻蚀机的控制系统
来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:appleqj
【摘 要】
:
本文主要阐述了反应离子蚀机的刻蚀机理,及真空系统中水汽等残余气体、工作压强、基片温度对刻蚀的影响,并着重讨论了基片温度的控制方法.
【作 者】
:
禹庆荣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第48研究所二部(长沙)
【出 处】
:
第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
:
2003年10期
【关键词】
:
RIE
反应离子刻蚀机
刻蚀机理
温度控制
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文主要阐述了反应离子蚀机的刻蚀机理,及真空系统中水汽等残余气体、工作压强、基片温度对刻蚀的影响,并着重讨论了基片温度的控制方法.
其他文献
基于Landsat ETM+数据的太湖水质等级反演
鸡西矿业集团公司张辰煤矿西三采区3
期刊
FIB(聚焦离子束)在微电子技术中的应用
FIB(Focused Ion Beam)是聚焦离子束技术的简称.该技术集形貌观察、定位制样和电路修正等功能于一身,大大提高了大规模集成电路失效分析的精度和速度,使传统的微分析技术有了
会议
聚焦离子束技术
微电子技术
失效分析
大规模集成电路
微分析技术
微电子设计
形貌观察
Ion Beam
制样
用水
精度
功能
定位
硅微尖端的研制和应用
利用半导体微细加工工艺,在硅片上制作出高150μm、尖端直径小于1μm的硅尖端阵列.还成功地研制了高1.5μm、尖端直径小于0.2μm的场致发射硅微尖端,并测试了其三级管特性.为
会议
微尖端
微细加工工艺
硅尖端
反应离子刻蚀
电子束曝光
直径
域的应用
场致发射
三级管
硅纳米
半导体
制作
阵列
特性
锐化
硅片
方法
测试
关于中日经济规模的国际比较
本研究主要讨论中国与日本的经济规模比较。在综述了各研究者对中国国际可比GDP的测算方法和结果的基础上,以1995年为基年用生产法测算了中目的可直接比较行业的双边购买力平价(PPP),并利用三种方法测算了非直接比较行业的PPP以得到国民经济总体的PPP,利用增长率法和GDP减缩指数法推算了1996~2004年日本的以人民币表示的GDP。本文发现至少从2003年开始,中国GDP与日本相当,在2004年,中国的GDP是日本的1.03~1.11倍。
期刊
经济规模
国际比较
购买力平价
生产法
用激光聚焦原子制作纳米结构的背景分析
用激光驻波场作为原子透镜阵列对原子束进行聚焦,由于热原子束的速度分布、发散角、衍射效应等的影响,原子透镜存在像差.原子透镜的像差和同位素原子是产生本底层、降低图形
会议
对N型InP做氦和氖双离子注入的电特性研究
本实验针对N型InP做氦和氖双离子注入及随后的退火,并用C-V测试方法测量样品中缺陷的电特性,测量结果显示,氦和氖双离子注入在InP中引起的损伤可以形成表层P型导电区域,经过4
会议
离子注入
退火
导电
测试方法
测量结果
三极管
电特性
电结构
薄基区
样品
显示
损伤
实验
缺陷
区域
表层
用紫外荧光法检测微空洞缺陷近距离吸杂效应
本研究采用紫外荧光法测量注入样品的表面金属杂质含量,发现氢离子注入引入的微空洞缺陷近距离吸杂能较大程度的减少表面金属沾污
会议
紫外荧光法
荧光法检测
空洞缺陷
距离
表面金属
氢离子注入
杂质含量
金属沾污
样品
吸杂
程度
测量
LC14强流氧离子注入机控制系统的研制
本文阐述了强流氧离子注入机计算机控制系统的软、硬件实现方案:详细分析了主—从机之间进行数据交换的数据包格式和通讯控制逻辑,发送方和接收方避免总线冲突以及检验传输过
会议
强流氧离子注入机
硬件实现方案
数据包格式
抗干扰设计
总线冲突
数据交换
控制系统
控制逻辑
传输过程
接收方
计算机
发送方
通讯
方法
重新平衡中国的增长:一种三管齐下的解决方案
这篇论文试图刻画对于中国而言正确的宏观经济战略的轮廓。简言之,我们认为解决方案包括降低储蓄特别是私人储蓄,增加服务的供给特别是医疗服务,以及人民币升值。这也正是我
期刊
宏观失衡
财政政策
汇率政策
中国经济
几种特殊的离子束分析法测定CVD金刚石膜中的杂质
金刚石具有非常优异的物理性能,如有最高的硬度、室温下最高的热导率、极小的热膨胀系数、全波段高光学透过率、声传播速度快、介电性能好、掺杂后具有半导体性质、并有极佳
会议
与本文相关的学术论文