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简要介绍在将一台透射电镜改建为缩小投影电子束曝光原理论证机时的工件台方案选择.
缩小投影电子束曝光原理论证机工件台
【摘 要】
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简要介绍在将一台透射电镜改建为缩小投影电子束曝光原理论证机时的工件台方案选择.
【机 构】
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中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年6期
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