【摘 要】
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介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的动态响应特性要求和动态响应特性测试系统，测试了感湿元件的动态响应特性，对测试结果进行了分析。结果表明，本文测试的感湿元件满足课题的基本要求；感湿元件的栅状上电极的栅条和间隙宽度及其搭配对感湿元件动态响应特性有较大影响；本文测试方法和系统设计合理。
【机 构】
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LAnzhou Jiaotong University,Lanzhou 730070,China
【出 处】
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第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛
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介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的动态响应特性要求和动态响应特性测试系统，测试了感湿元件的动态响应特性，对测试结果进行了分析。结果表明，本文测试的感湿元件满足课题的基本要求；感湿元件的栅状上电极的栅条和间隙宽度及其搭配对感湿元件动态响应特性有较大影响；本文测试方法和系统设计合理。
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