真空电机引线在真空环境中的放气特性分析

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianlong3311
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  材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。本文主要研究真空电机引线在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明真空电机引线在加热过程中的放气率先增大后减小,幵随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为50-52 和55-57的气体成分,说明放出的气体成分可能含C6H6 和有机物。
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