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最近有一种新型器件结构——半浮栅器件被用于动态存储器,而基于这种器件结构可以衍生出半浮栅感光器件,该器件在原理上比传统的有源像素传感器具有更大的填充因子.本文介绍了使用TCAD软件来模拟用半浮栅新概念制作的感光器件,可以发现这种器件在不同光照强度下的起到了active sensor的作用,将继续对其做进一步的分析和研究。