LaAlO3衬底介电常数ε-r分布测量

来源 :第三届全国超导薄膜和超导器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bb314949909
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采用测量LaAlO3衬底上表面不同位置小面积金属膜与下表面金属膜所构成的小电容容值,通过这些电容容值可得到衬底表面不同位置的等效介电常数,从而测量出LaAlO3衬底介电常数εr的分布。实验结果表明所测样品εr起伏变化为2.5~3℅,并呈一定花样分布。孪晶畴界面εr存在较大的变化。
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