【摘 要】
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超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀。具有品种多、用量大、技术要求高等特点。在现阶段，集成
【机 构】
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天津市风船化学试剂科技有限公司300240
【出 处】
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2004年全国电子专用化学品高新技术与市场研讨会
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超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀。具有品种多、用量大、技术要求高等特点。在现阶段，集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中，仍普遍沿用湿法工艺。因此，超净高纯试剂在电路制造中更不失其重要意义。由于不同类型的杂质对器件和电路的危害不同，因此分别制定了杂质最高含量指标。随着集成度和线宽微细化程度的不断提高，对超净高纯试剂提出了更高的质量要求，本文分析了超净高纯试剂的质量要求和检测要求。
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