InGaZnO薄膜晶体管表面等离子体处理研究

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：saya1989

【摘要】

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以铟镓锌氧化物(IGZO)为有源层的薄膜晶体管由于其具有高的场效应迁移率、高的可见光透过率、大面积均匀性及与柔性衬底的兼容性而在研究和产业界倍受关注[1-4].大量研究结果

【作者】

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胡锐钦杨景川裴艳丽范冰丰王钢

【机构】

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中山大学物理与工程技术学院广东省广州市中山大学东校区纳米楼6楼

【出处】

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中国物理学会2012年秋季学术会议

【发表日期】

：

2012年期

【关键词】

：

薄膜晶体管表面界面有源层可见光透过率场效应迁移率晶体管性能锌氧化物柔性衬底

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以铟镓锌氧化物(IGZO)为有源层的薄膜晶体管由于其具有高的场效应迁移率、高的可见光透过率、大面积均匀性及与柔性衬底的兼容性而在研究和产业界倍受关注[1-4].大量研究结果表明其表面界面控制工程对IGZO薄膜晶体管的特性特别是稳定性起着关键性作用[5-7].本文将等离子表面处理技术应用到以IGZO作为有源层的薄膜晶体管中,研究其对IGZO薄膜晶体管性能的影响.

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