液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性的改善

来源 :2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xyfan
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用水平推舟的方法以固态HgTe替代液态Hg补偿源,在CdZnTe衬底上从富Te溶液中外延生长出组分均匀的HgCdTe薄膜.采用红外透射法测量薄膜的组分及截止波长,并利用光学显微镜小光点系统辅之于机械扫描机构对薄膜的微小区域进行扫描测量.测试薄膜的面积为22×28mm<2>,Δx=±0.002,得出的结论是薄膜的组分均匀性和重要性都很好.
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