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该文采用溶胶－凝胶法制备了ＳｎＯ＜，２＞／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层薄膜，对乙醇具有相当的灵敏度和选择性，实验发现多层膜的稳定性比单层膜有明显的改善，并且通过俄歇分析得到了多层膜之间过渡层的组成，在此基础上提出了一个新的稳定机理模型加以解释。
SnO<,2>/Fe<,2>O<,3>多层薄膜的制备及其稳定性研究
【摘 要】
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该文采用溶胶－凝胶法制备了ＳｎＯ＜，２＞／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层薄膜，对乙醇具有相当的灵敏度和选择性，实验发现多层膜的稳定性比单层膜有明显的改善，并且通过俄歇分析得到了多层膜之间过渡层的组成，在此基础上提
【机 构】
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科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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