【摘 要】
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引言大气压下空气环境有两种,即静态空气环境和流动空气环境,但是己报道的空气冷等离子体射流装置只能在一种空气环境下,产生空气等离子体射流,并且采用的电极结构为非介质阻挡放电电极结构[1-3].尽管chen[4]等人利用介质阻挡放电结构,在大气压下成功产生了冷空气等离子体射流,但是射流长度非常小,只有约5mm.
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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引言大气压下空气环境有两种,即静态空气环境和流动空气环境,但是己报道的空气冷等离子体射流装置只能在一种空气环境下,产生空气等离子体射流,并且采用的电极结构为非介质阻挡放电电极结构[1-3].尽管chen[4]等人利用介质阻挡放电结构,在大气压下成功产生了冷空气等离子体射流,但是射流长度非常小,只有约5mm.
其他文献
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感应耦合等离子体(ICP)具有低气压、高密度以及均匀性好等优点,在半导体制造工业中得到了广泛应用.混合气体(如Ar/Cl2)更广泛用于薄膜的刻蚀,尤其是多晶硅的刻蚀.然而,混合气体的应用会带来很多问题,如负离子的出现会改变离子流、电子密度、放电空间结构,引起放电不稳定等.所以理论研究Ar/Cl2混合气体等离子体特性对实际应用有重要的意义.
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