【摘 要】
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在膜带传输过程中,实现在线连续沉积,会造成化学液的持续消耗,同时化学液中含有限制排放的镉离子,废液处理费用昂贵,因此无论从化学液消耗角度还是从降低废液处理费用角度,都要尽可能减少化学液的消耗量.针对这些难点,提出了化学液以液膜形式流过膜带表面,并对化学液流速进行控制的解决办法.再根据薄膜传输速度,对沉积工艺时间进行准确控制,从而实现膜带传输过程中的连续在线沉积.通过在线式化学沉积工艺中的药液供给系
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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在膜带传输过程中,实现在线连续沉积,会造成化学液的持续消耗,同时化学液中含有限制排放的镉离子,废液处理费用昂贵,因此无论从化学液消耗角度还是从降低废液处理费用角度,都要尽可能减少化学液的消耗量.针对这些难点,提出了化学液以液膜形式流过膜带表面,并对化学液流速进行控制的解决办法.再根据薄膜传输速度,对沉积工艺时间进行准确控制,从而实现膜带传输过程中的连续在线沉积.通过在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计，成功解决了化学液的自动配比和化学液温度控制这两方面的难题。
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