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为了降低光在多晶硅表面的反射,已经采用化学腐蚀法制备了多晶硅的绒面.通过反射光谱测试结果研究了不同的多晶硅绒面的形貌特征及光学特性.在适当的腐蚀液中制备的3×3cm<2>的多晶硅绒面,其表面反射率在300-1000nm波长范围内不超过6﹪.这一结果可以和具有双层减反射膜的多晶硅表面的反射率相比拟.