论文部分内容阅读
离子冷却储存环——科学研究的新工具——对国家拟建这一重大科学工程的思考
【机 构】
:
斯德哥尔摩大学
【出 处】
:
中国科技协会第二届青年学术年会(基础科学)
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
该研究中,将离轴照明与相移掩模技术结合起来,在掩模上同时实现两种功能,可较大程度提高光启程分辨力,实验表明,在数值孔径0.42,i线曝光波长下,可将光刻分辨力从0.8微米提高到0.5微米。
该研究利用高分辨光谱技术,对ZnS∶Sm[*+*],Ⅰ体系,通过改变不同杂质离子Ⅰ及其浓度,观察到某些杂质离子对稀土发光中心具有强烈的影响,并对它们之间的相互作用进行了讨论。研究结