【摘 要】
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采用第一性原理计算的方法研究了氧在铅锌矿AlN(10-10)和(11-20)面的吸附结构与电子性质.发现氧原子吸附要比分子吸附在能量上更为稳定,而且O2在靠近表面的过程中能都自动分
【机 构】
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西安交通大学应用物理系,西安 710049
【出 处】
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第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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采用第一性原理计算的方法研究了氧在铅锌矿AlN(10-10)和(11-20)面的吸附结构与电子性质.发现氧原子吸附要比分子吸附在能量上更为稳定,而且O2在靠近表面的过程中能都自动分解,因此发生分子吸附的可能性很小。由于氧原子半径小,N—O和A1-O键都比较强,氧原子在表面的扩散很难发生。这可能是造成A1N薄膜中氧杂质含量较高的重要因素之一。通过电子结构分析表明,氧吸附使得带隙中原来的表面态消失而引入与氧相关的表面态.
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