对大型真空容器进行氦质谱检漏过程中，需要采用辅助真空泵来维持系统的检漏工作真空度，油封式机械泵是检漏系统常用的辅助泵。近些年来无油真空泵产品日趋成熟，真空检漏系统中无油真空泵越来越多得取代油封式机械泵作为检漏系统辅助泵。在以无油泵为辅助泵的真空检漏系统中，经常出现检漏系统本底异常升高、检漏灵敏度降低的现象。本文采用理论分析与实验相结合的方法，在同一真空检漏系统中分别采用旋片泵、爪式干泵、分子泵机组作为辅助泵，对检漏系统的有效最小可检漏率进行了标定，实验结果表明，、容器真空度在1310-2Pa 量级、分子泵前级压力在1Pa～5Pa 范围内，以干泵为辅助泵的检漏系统有效最小可检漏率之值比其它两种泵作为辅助泵的检漏系统高一个量级。本文从检漏系统有效最小可检漏率的影响因素入手，结合容积式真空泵工作原理，解释了无油真空泵对检漏系统有效最小可检漏率的影响原因。