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采用MBE技术在蓝宝石（1120）基片上生长出垂直取向的ZnO薄膜，在si（111）基片上生长出平行取向的ZnO薄腹，并分别讨论了基片材料、基片温度和生长速率对ZnO薄膜结构取向的影响。
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