Norland Optical Adhesive（NOA）紫外固化光学胶是一种透明的暴露在紫外光下即可固化的液态光聚物。与其它聚合物材料相比,NOA材料的工艺简单,可以快速固化,在宽温度范围内长期稳定,并且吸收损耗较低,因此可以将NOA材料用于制备光波导器件。高质量的薄膜是制作聚合物光波导器件前提条件,本文通过改变旋涂时间、旋涂速度以及曝光时间等条件,研究了NOA紫外固化胶的成膜特性,使用原子力显微镜对聚合物薄膜表面粗糙度进行测试,测试结果显示在20μmx20μm范围内薄膜表面RMS值为1.18nm,完全可以满足制备光波导器件的要求。利用NOA材料制备了直波导及热光开关器件,直波导的具体工艺如下:在表面长有SiO₂的Si衬底上旋涂NOA-88材料作为芯层,使用紫外灯固化,蒸镀铝掩膜,旋涂光刻胶,进行光刻显影以及ICP刻蚀工艺,制备出矩形波导,再将矩形波导上的铝掩膜去掉,旋涂NOA-61作为上包层,完成直波导器件的制备。扫描电镜照片（SEM）显示,制作的波导具有良好形貌。将功率为0.005mW,波长1550nm的红外光输入2.2em长的直波导中,测得波导的红外近场输出光斑如图1所示。在此基础上利用NOA材料制备了M-Z结构的聚合物热光开关,并对开关性能进行了测试,图2为波导截面示意图。