一种天线、电感、电容圆片级集成工艺设计

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通信技术与消费电子产品的迅猛发展,使得小型化系统级集成的需求愈加迫切,其中最主要的问题之一是无源器件的集成,有时无源器件甚至决定了整体系统的性能。本文提出了一种天线-电感-电容圆片级集成结构,并给出了详细的工艺方案。最后提出了天线-电感-电容作为无源转接板的应用模型,同时基于ANSYS HFSS平台对双面互连穿硅通孔(TSV)传输结构进行了设计与仿真。
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