切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
溅射沉积的Mo/SiO2多层膜
溅射沉积的Mo/SiO2多层膜
来源 :第七届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zh_engxu
【摘 要】
:
该文利用低角X射线衍射,俄歇电子能谱、截面高分辨电子显微镜及能量滤波电子显微镜元系成相等实验手段分析了用磁控溅射方法制备的Mo/SiO2多层薄膜样品的成分、厚度、界面精糙
【作 者】
:
王凤平
王佩璇
【机 构】
:
北京科大天宇微电子材料技术开发有限公司(北京)
【出 处】
:
第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
溅射沉积
高分辨电子显微镜
俄歇电子能谱
退火研究
实验手段
射线衍射
热稳定性
能量滤波
界面
截面
磁控溅射
薄膜样品
谱方法
厚度
法制
多层
糙度
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
该文利用低角X射线衍射,俄歇电子能谱、截面高分辨电子显微镜及能量滤波电子显微镜元系成相等实验手段分析了用磁控溅射方法制备的Mo/SiO2多层薄膜样品的成分、厚度、界面精糙度及界面的扩散情况等。同时利用截面高分辨电子显微镜及Auger 电子能谱方法对膜的热稳定性作了热退火研究。
其他文献
用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜
会议
射频偏压
溅射制备
紫外光响应
强化非智力因素提高初中数学教学效果
各种非智力因素对于学生智力活动的短时的和长远的影响,我们对此也应该引起足够的重视,并通过联系实际、设置悬疑、制造矛盾、故意出错等方法有意识地不断地强化学生非智力的
期刊
非智力因素
数学教学
教学效果
浅论小学生自学能力的培养
现代教育的高速变迁,将迫使人们终身学习.人欲学会生存,则首先要学会学习.过去的应试教育,学生不能把精力集中在"学会学习上,而是让书本、让分数牵着走,一切围绕升学的指挥棒
期刊
学生自学
小学生
自学能力
学习指导
学习方法
学会学习
实施素质教育
能力的培养
终身学习
应试教育
现代教育
素质低下
指挥棒
思想
书本
生存
升学
渗透
默默耕耘痛并快乐着——浅谈音乐课堂管理论文
一篇精巧的音乐教学设计,往往会因为当事教师缺乏有效的课堂纪律管理和调控,而在实践中变得“毫无生机”,有时甚至难以逃脱失败的命运.一堂音乐课的顺利进行,需要良好的纪律
期刊
音乐教学
快乐
课堂管理
如何缩小初中外语两极分化问题
初中学生往往会出现两极分化,这种两极分化直援影响着学生在整个中学阶段的学习成绩.为了能够缩小两级分化我做了很多尝试积累了一些经验.下面与各位同仁探讨.
期刊
分析原因
树立信心
培养兴趣
浅析中学古诗教学中的审美教育
苏霍姆林斯基曾指出“学校的任务在于,把美感和许多世纪以来造就的美变为每个人心灵的财富,变为个人的审美素养.”因此,在教学中应当把审美教育寓于语言文字训练之中,通过创
期刊
中学
古诗教学
语言文字训练
苏霍姆林斯基
帮助学生
心理素质
审美素养
审美教育
美育因素
创设情景
学校
世纪
情感
美感
教材
财富
科普文章要有科学意识
日前,某家大报在不同版面上先后报道了“滴血树”。对一种普通的自然现象视为珍闻而连篇累牍加以报道.读者只能认为是哗众取宠或没有科学意识。凡植物都含有汁液,弄伤了表皮
期刊
科普文章
一品红
红背桂
药用植物
夹竹桃
鸡血藤
色素
就更
黄藤
三脚鸡
退火温度对Ge-SiO<,2>薄膜的结构和发光特性的影响
用射频磁控溅射制备了Ge-SiO薄膜.在N的保护下对薄膜进行了不同温度的退火处理.使用X射线衍射谱(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)分析了样品的微结构,研究了样品在退火中发生的结
会议
退火温度
薄膜
微结构
发光特性
样品
测试结果
光电子能谱
退火处理
射线
射频磁控
溅射制备
衍射谱
发光峰
组分
晶粒
光发
保护
溅射Go-Ag颗粒膜的磁光克尔效应
用直流离子束共溅射技术溅射co-ag复合靶,制备了一系列CO含量不同的颗粒膜,薄膜厚度约为400nm含Co的体积比从0.03到0.84。在室温下,Co-Ag颗粒膜的板克尔角k的磁光谱被测量,测量的
会议
离子束共溅射技术
颗粒膜
克尔角
颗粒的浓度
被测量
薄膜厚度
波长范围
微结构
外磁场
体积比
室温下
复合靶
磁光谱
直流
旋转
人员
膜面
含量
垂直
小学阶段如何在写字中育人
1 课题研究的意义rn写字具有育德、固知、启智、修性、养心、健体、审美等功能.写字是小学生必须具备的一项基本功.在古代,人们就非常重视写字,著名的书法家有王羲之、欧阳修
期刊
小学阶段
小学生
新课程标准
课题研究
颜真卿
王羲之
书法家
欧阳修
毛泽东
柳公权
基本功
育德
养心
学习
习惯
审美
铅笔
毛笔
近代
怀素
与本文相关的学术论文