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作者采用多孔阳极氧化铝模板,进行电化学或化学气相沉积,成功地制备出大面积高度取向纳米有序阵列自组装复合结构,进而遴选出适合场发射冷阴极材料和结构.
多孔阳极氧化铝(AAO)模板法纳米阵列结构的制备及其场致电子发射特性的研究
【摘 要】
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作者采用多孔阳极氧化铝模板,进行电化学或化学气相沉积,成功地制备出大面积高度取向纳米有序阵列自组装复合结构,进而遴选出适合场发射冷阴极材料和结构.
【机 构】
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兰州大学化学化工学院 兰州大学化学化工学院;西北师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
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第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议
【发表日期】
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2001年12期
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