ZnO纳米针阵列合成及台阶动力学生长机理

来源 :2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chjl0620

【摘要】

：

　　在CVD系统中,将高纯度ZnO粉末(＞99.95％)置于炉管中心高温蒸发区,经过清洗处理后的Si(100)基片置于生长区,表面向上,基片表面没有镀金属膜催化剂.炉管内保持在200～300 Torr的

【作者】

：

唐斌税正伟张强刘忠华邓宏谌贵辉

【机构】

：

西南石油大学理学院,成都610500

【出处】

：

2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会

【发表日期】

：

2010年期

【关键词】

：

ZnO粉末纳米针阵列合成台阶动力学蒸发区温度上升

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　　在CVD系统中,将高纯度ZnO粉末(＞99.95％)置于炉管中心高温蒸发区,经过清洗处理后的Si(100)基片置于生长区,表面向上,基片表面没有镀金属膜催化剂.炉管内保持在200～300 Torr的真空度,以升温率25℃/min的速度将炉中蒸发区温度上升到1 350℃,开始通传输气体Ar气,流量为40 sccm,蒸发区保持1 350℃的恒温25 min.

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