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分子泵自上世纪初发明以来已经经历了近百年的发展历程。从最初的推动型分子泵，到后来的涡轮分子泵以及涡轮级加拖动级的复合型分子泵，其抽气原理及抽气结构在上世纪70 年代末基本趋于稳定。上世纪80 年代以后，随着轴承工业进步，陶瓷轴承开始应用于分子泵，使得同口径分子泵较以前转速更高，抽速、压缩比等性能得到显著提高，运转寿命进一步提高。特别是自上世纪80 年代，磁悬浮技术应用于分子泵，实现分子泵高速、无摩擦运转，可获得完全无油的清洁高真空。随着近年来控制技术方面进步，控制器日益小型化、智能化，磁悬浮分子泵技术日趋成熟可靠，已经逐渐成为许多工业工艺过程，特别是半导体工业的主流泵型。