固体C<,70>/GaAs接触的界面态及整流特性

来源 :全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cdelphiboy
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在高真空系统中,将C<,70)膜淀积在(100)晶向n型和p型GaAs衬底上,形成固体C<,70>/n-GaAs和C<,70>/p-GaAs两种接触。电学测量表明两种接触均是强整流结,在偏压为±1V 时,它们的整流比分别大于10<6>和10<4>,以及在固定正向偏压下,它们的电流都是温度倒数的指数函数,从中确定了它们的有效势垒高度分别为0.784eV和0.531eV。深能级瞬态谱(DLTS)和C-t测量发现在C<,70>/GaAs界面上存在一个电子陷阱E(0.640eV)和一个空穴陷阱H<,3>(0.822eV),以及在近界面的固体C<,70>中存在两个空穴陷阱H<,4>(1.155eV)和H<,5>(0.856eV)。
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