【摘 要】
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微全分析系统近年来发展很快,是当前最活跃的研究领域之一[1-3],旨在将分析实验室的主要功能集成到一块微流控芯片上,以满足各行业对分析的需求。用于制作微流控芯片的材料有
【基金项目】
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国家自然科学基金(No．20299034,20405012
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<正>微全分析系统近年来发展很快,是当前最活跃的研究领域之一[1-3],旨在将分析实验室的主要功能集成到一块微流控芯片上,以满足各行业对分析的需求。用于制作微流控芯片的材料有硅、玻璃、聚合物等[1,4],其中玻璃具有良好的电渗性质和优良的光学性能,适于高精度加工,已广泛用于制作微流控芯片。目前微流控芯片的制作还远没有达到量产,玻璃芯片加工成本高昂。微通道一
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