Ti/Si<,3>N<,4>界面反应机理及结构

来源 :第九届全国特种陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong450
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在用融盐法成功实现氮化硅陶瓷钛金属化的基础上,对融盐法制备的钛金属层与氮化硅基体的界面结构研究发现,氮化硅与钛发生反应生成呈层状结构的TiN和Ti〈,5〉Si〈,3〉,并在此基础上,运用化学热力学、相稳定相图对界面反是行了讨论。
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