【摘 要】
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采用多弧离子镀技术在316L不锈钢基体表面沉积AlCrSiN涂层,并对其分别进行700℃ 、800℃和900℃真空退火处理.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱分析(XPS)、高分辨透
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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采用多弧离子镀技术在316L不锈钢基体表面沉积AlCrSiN涂层,并对其分别进行700℃ 、800℃和900℃真空退火处理.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱分析(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、扫描电镜(SEM)、划痕法来表征AlCrSiN涂层的相结构和表面形貌以及退火前后AlCrSiN涂层与基体的结合力,采用动电位极化扫描法来研究退火前后AlCrSiN涂层分别在3.5％ NaCl,10％ H2SO4(质量分数)介质中的腐蚀行为.研究结果表明,AlCrSiN涂层主要由fcc结构的固溶(Cr,Al)N相组成,表面有大量的金属颗粒,涂层与基体的结合力为27N.退火后AlCrSiN涂层中(Cr,Al)N固溶相分解,并且随着退火温度的升高,AlCrSiN涂层结构变化依次为(Cr,Al) N→CrN+ Cr2N+ hcp-AlN→CrN+ Cr2N+ hcp-AlN+ Cr→CrN+ Cr2N+ hcp-AlN+ fcc-AlN+ Cr.并且退火后涂层表面颗粒减少,涂层与基体的结合力增大,涂层在两种溶液中的腐蚀电位均正移,其中800℃退火后涂层的腐蚀电位最大,腐蚀电流密度最小,说明涂层在800℃退火后具有良好的抗腐蚀性能.
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