【摘 要】
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搭建了一套工作于0.117 THz的高分辨率三维近场扫描成像实验系统,利用该系统对不同的样品进行了初步成像研究,并取得了较好的成像结果,实验验证了5 mm左右的成像分辨率。该系
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十四研究所; 北京大学;
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搭建了一套工作于0.117 THz的高分辨率三维近场扫描成像实验系统,利用该系统对不同的样品进行了初步成像研究,并取得了较好的成像结果,实验验证了5 mm左右的成像分辨率。该系统具有结构简单、成本低廉等优势。并且,为了将成像系统的分辨率提升至微米量级,设计了一款新型探针,在0.1 THz~0.25 THz频率范围内,该探针的聚焦分辨率可以达到0.3 mm。
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