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Properties of DLC Coating Deposited on Micro-Mould Used in Microforming
【机 构】
：
School of Materials Science and Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, P.R.Chin
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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