疊加型高功率脈衝磁控濺射技術與製程應用

来源 :第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：linshenxiu

【作者】

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【机构】

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明志科技大學材料工程系/薄膜科技與應用中心

【出处】

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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛

【发表日期】

：

2017年12期

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