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本文建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结构,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多.该模型对于实际应用SMA膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义.