双晶型SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟

来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu_threestone
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本文建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结构,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多.该模型对于实际应用SMA膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义.
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