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压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案。取消隔离PN结是问题的关键。传统的SOS法很不理想。本文报道了作者在现代三维微电子技术及微机械加工技术基础上,用SDB法开发的SOI硅高温压力传感器的成果及与碳化硅高温压力传感器研究成果结合开展的SOI型超高温压力传感器的研究。
SOI高温及超高温压力传感器的开发与研究
【摘 要】
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压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案。取消隔离PN结是问题的关键。传统的SOS法很不理想。本文报道了作者在现代三维微电子技术及微机械加工技术基础上,用SDB法开
【机 构】
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宝鸡传感器研究所; 中科院上海冶金所; 西安电子科技大学; 中科院北京半导体所;
【发表日期】
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2000年期
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